Boston University.;
机译:通过对ASMC 0.35- $ mu text {m} $ CMOS芯片进行后处理的CMOS-MEMS微镜阵列
机译:与硅CMOS读出电子器件单片集成的Si-Ge异质结光电探测器的线性阵列
机译:基于CMOS后端与超材料吸收剂集成的CMOS-MEMS宽带红外发射器阵列的设计
机译:具有集成电子设备的大规模金属MEMS反射镜阵列
机译:使用压电聚合物的MEMS尺寸CMOS兼容能量收集器,用于可持续电子
机译:使用CMOS-MEMS技术制造微镜阵列
机译:1200镜子阵列与CMOS集成,用于光子开关:机械杠杆和扭转静电驱动的应用,降低驱动电压要求并增加角倾斜