基于新型源测量单元的半导体器件特性测试系统的研究

目录

声明

第一章 绪论

1.1 课题研究背景

1.1.1 半导体器件介绍

1.1.2 半导体测试设备的发展现状

1.1.3 源测量单元的发展现状

1.2 课题研究意义

1.3 课题部署与论文架构

1.3.1 课题研究内容

1.3.2 论文整体架构

1.4 本章总结

第二章 半导体器件测试方法的研究

2.1 半导体测试基础理论

2.2 半导体器件的测试需求

2.2.1 晶体二极管的测试需求

2.2.2 晶体三极管的测试需求

2.2.3 MOS场效应管的测试需求

2.3半导体器件的I-V特性传统测试方法

2.4 SMU模拟闭环电路实现方法

2.4.1 基于集成运算放大器的模拟闭环电路理论分析

2.4.2 模拟闭环SMU电路的实施方案

2.5 本章总结

第三章 模拟闭环SMU电路硬件系统方案的设计与实现

3.1 模拟闭环SMU电路拓扑结构

3.1.1 普通负反馈机制下SMU电路架构

3.1.2 电流量测方案中的分流电路理论

3.1.3 基于有源分流安培计的SMU电路

3.2 SMU电路仿真

3.2.1 电路仿真平台TINA-TI介绍

3.2.2 SMU电路芯片选型

3.2.3 基于普通负反馈机制的双量程SMU电路架构下的电路仿真

3.2.4 有源分流SMU电路功能级仿真

3.2.5 SMU电路系统稳定性分析

3.2.6 SMU电路方案比较与选择

3.3 SMU硬件电路设计

3.3.1 Cadence Allegro EDA设计平台简介

3.3.2 芯片选型与介绍

3.3.3 SMU硬件电路原理图设计

3.3.4 PCBLAYOUT设计

3.4 PCB投板与焊接

3.5 本章总结

第四章 数字闭环SMU电路系统方案设计预研

4.1 提出数字闭环SMU电路架构的原因

4.2 数字闭环传输系统理论分析

4.3 数字闭环传输函数下SMU电路的实施方案

4.3.1 数字闭环SMU电路系统框图

4.3.2 V-IControl的实现方法

4.4 本章总结

第五章 系统综合测试与性能分析

5.1 板载IC驱动程序编写与硬件联调

5.2 半导体器件I-V特性测试序列程序编写

5.3 SMU硬件电路下的半导体器件特性测试系统的测试

5.3.1 半导体器件特性测试系统下的二极管I-V特性测试

5.3.2 半导体器件特性测试系统下的晶体三极管输出特性测试

5.4 系统整体性能评估

5.5 本章总结

第六章 课题整体总结与未来规划

参考文献

发表论文和参加科研情况说明

致谢