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第一章 绪论
1.1引言
1.2 RF MEMS开关概述
1.3 RF MEMS开关研究现状
1.4研究目的与意义
1.5本文主要研究内容
第二章 RF MEMS开关的建模及分析
2.1压电驱动
2.2新兴材料
2.3 RF MEMS开关的建模及分析
2.4本章小结
第三章 RF MEMS开关的动力学仿真分析
3.1 RF MEMS开关的动力学分析
3.2 RF MEMS开关的驱动电压和闭合时间仿真分析
3.3 RF MEMS开关的释放时间仿真分析
3.4本章小结
第四章 RF MEMS开关的射频性能仿真分析
4.1 RF MEMS开关的射频性能参数
4.2 RF MEMS开关的电磁场分析流程
4.3 RF MEMS开关的射频性能仿真分析
4.4 RF MEMS开关的射频性能优化分析。
4.5本章小结
第五章 RF MEMS开关的寿命预测
5.1 RF MEMS开关的主要失效模式及机理
5.2 Paris定理概述
5.3 RF MEMS开关的疲劳命估算
5.4本章小结
第六章 总结与展望
6.1总结
6.2展望
参考文献
致谢
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