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张永华; 丁桂甫; 蔡炳初; 赖宗声;
华东师范大学,信息科学技术学院,上海,200062;
上海交通大学,微纳科学技术研究院,上海,200030;
射频微机电系统; 开关; 双稳态电磁驱动; UV-LIGA技术; 牺牲层;
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