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缩略语对照表
第一章 绪论
1.1引言
1.2统计过程控制技术的发展和问题
1.3研究背景与意义
1.4国内外研究现状
1.5研究内容概述及主要创新点
1.6论文各部分内容安排
第二章 SPC理论基础
2.1引言
2.2 SPC基本概念
2.3控制图的主要统计原理
2.4控制图的选用
2.5控制图的开发
2.6本章小结
第三章 晶圆片加工的统计过程控制
3.1引言
3.2一阶嵌套位置效应模型及一些结论
3.3一阶嵌套位置效应的检验
3.4一阶嵌套位置效应对常规控制图的影响
3.5一阶嵌套位置效应控制图：方法一
3.6一阶嵌套位置效应控制图：方法二
3.7两种统计过程控制方法的对比
3.8片加工统计过程控制应用实例
3.9本章总结
第四章 晶圆批加工的统计过程控制
4.1引言
4.2二阶嵌套位置效应模型及一些结论
4.3二阶嵌套位置效应的检验
4.4二阶嵌套位置效应控制图：方法一
4.5二阶嵌套位置效应控制图：方法二
4.6两种统计过程控制方法的对比
4.7批加工统计过程控制应用示例
4.8本章总结
第五章 零过多颗粒数的统计过程控制
5.1引言
5.2现有缺陷模型
5.3阈值泊松分布模型
5.4阈值泊松分布参数估计
5.5阈值泊松分布模型在实际应用中的优越性
5.6基于阈值泊松分布模型的Shewhart控制图
5.7参数估计存在的一些问题
5.8基于阈值泊松分布模型的CUSUM和EWMA控制图
5.9应用示例
5.10 本章总结
第六章 结论与展望
6.1本文结论
6.2未来展望
参考文献
附表一
致谢
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