声明
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符号对照表
缩略语对照表
第一章 绪论
1.1 GaN材料特性和优化GaN基HEMT的主要技术
1.2 GaN基HEMT器件研究进展
1.3本论文的研究内容与工作安排
第二章 RESURF AlGaN/GaN HEMT器件数值建模与二维温度场分析
2.1 RESURF AlGaN/GaN HEMT器件数值解析模型
2.2具有阶梯AlGaN新型AlGaN/GaN HEMT二维温度场分析
2.3本章小结
第三章 AlGaN/GaN HEMT器件变温特性研究
3.1待测样品介绍
3.2 AlGaN/GaN HEMT器件变温特性测量
3.3本章小结
第四章 具有阶梯AlGaN新型AlGaN/GaN HEMT器件结温测量
4.1半导体器件常用结温测量方法
4.2 AlGaN/GaN HEMT器件拉曼光谱法结温测试
4.3本章小结
第五章 总结与展望
5.1总结
5.2展望
参考文献
致谢
作者简介
1. 基本情况
2. 教育背景
3. 攻读硕士学位期间的研究成果
