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目录
第一章 绪 论
1.1 研究背景
1.2 AlGaN/GaN材料特性
1.3 AlGaN/GaN HFET功率器件国内外研究现状
1.4 本文的主要工作
第二章 AlGaN/GaN HFET器件物理
2.1 AlGaN/GaN异质结极化效应与2-DEG来源
2.2 AlGaN/GaN晶圆材料性质测试与分析
2.3 AlGaN/GaN HFET工作原理
2.4 本章总结
第三章 凹槽栅增强型AlGaN/GaN HFET器件工艺开发
3.1 优化欧姆接触研究
3.2 新型凹槽栅刻蚀工艺开发
3.3 AlGaN/GaN异质结表面钝化工程
3.4 AlGaN/GaN增强型器件其他工艺
3.5 凹槽栅增强型AlGaN/GaN HFET工艺流程
3.6 本章总结
第四章 AlGaN/GaN HFET功率开关器件研制与测试
4.1 高性能凹槽栅增强型AlGaN/GaN MIS-HFET器件研制
4.2 增强型MIS-HFET器件性能测试与分析
4.3 新型AlGaN/GaN HFET功率器件研制
4.4 新型HFET功率器件温度特性测试与分析
4.5 本章总结
第五章 结 论
致谢
参考文献
攻读硕士学位期间取得的研究成果