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【6h】

硅基微腔绝热转换机理与器件研究

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1 绪 论

1.1 研究背景

1.2 绝热转换原理

1.3 光学微腔

1.4 绝热波长转换研究现状

1.5 绝热光存储的研究现状

1.6 本论文的主要内容

2 耦合谐振腔的传输理论研究

2.1 上下话路型微环谐振器的传输理论

2.1.1 上下话路型微环谐振器的传输矩阵法

2.1.2 上下话路型微环谐振器的时域耦合模理论

2.1.3 微腔性能参数

2.2 2R2B结构的传输理论

2.2.1 2R2B结构的传输矩阵法

2.2.2 2R2B结构的时域耦合模理论

2.2.3 2R2B结构存储原理

2.3 耦合谐振腔数值仿真方法

2.4 本章小结

3 谐振腔内绝热波长转换的理论分析及仿真

3.1 绝热波长转换原理

3.2 谐振腔内绝热波长转换的仿真

3.2.1 上下话路型微环谐振器中的绝热波长转换

3.2.2 类行波F-P谐振腔中的绝热波长转换

3.3 本章小结

4 耦合谐振腔内绝热存储的仿真及分析

4.1 上下话路型微环谐振器的数值计算及分析

4.2 2R2B结构的数值计算及分析

4.2.1 双环半径之比对输出的影响

4.2.2 微环耦合透射比对输出的影响

4.2.3 微环折射率对输出的影响

4.3 2R2B结构绝热存储仿真

4.3.1 2R2B结构频域仿真

4.3.2 2R2B结构时域存储仿真

4.4 本章小结

5 硅基微腔器件的制备以及测试

5.1 器件制备的关键工艺

5.1.1 电子束曝光

5.1.2 ICP刻蚀

5.2 实验工艺流程

5.3 微腔谐振器测试

5.3.1 微腔谐振器测试系统

5.3.2 上下话路型微环谐振器测试

5.3.3 类行波F-P谐振腔测试

5.3.4 2R2B结构测试

5.4 本章小结

6 总结与展望

致谢

参考文献

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