一种硅基光学微腔生物传感器的研究(英文)

摘要

本文我们通过电化学腐蚀方法实验制备出一种多孔硅微腔结构,采用热氧化功能处理,采用APTES小分子进行了生物传感实验,实验测量了生物分子进入到一维多孔硅微腔前后的反射光谱;同时,我们采用转移矩阵理论,利用Matlab进行理论仿真小分子进入到一维多孔硅微腔前后的反射光谱.研究结果表明:一维多孔硅光子晶体微腔结构的生物传感器,具有很高的特异性和灵敏度,且有检测周期短、精度高、免标签等优点.此项研究也有助于指导设计实用化多孔硅微腔结构光子晶体生物传感器.