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目录
第一章 绪 论
1.1 引言
1.2 片上电感研究现状及应用
1.3 本课题研究的意义
1.4 本课题研究的内容
1.5本论文的结构
第二章 片上螺旋电感的理论分析基础
2.1电感的物理基础
2.2 片上螺旋电感的基本结构及分类
2.3 片上螺旋电感的性能参数
2.4片上螺旋电感的损耗分析
2.5电感模型的建立分析
第三章 片上螺旋电感设计及工艺制备
3.1 高性能片上电感设计对工艺的要求
3.2厚铜工艺开发
3.3 片上螺旋电感的设计
3.4高性能片上螺旋电感的制造
第四章 片上螺旋电感的测试分析及建模
4.1片上螺旋电感测试分析
4.2电感模型的建立
第五章 结 束 语
参 考 文 献
附录1 模型中各几何尺寸的物理含义
附录2 模型中各几何尺寸的计算公式
附录3双π scalable模型中的工艺参数列表
致谢
攻读硕士学位期间已发表或录用的论文
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