一种基于垂直石墨烯互连结构的片上螺旋电感

摘要

本发明公开了一种基于垂直石墨烯互连结构的片上螺旋电感。单层石墨烯互连功耗明显，而多层水平石墨烯在垂直方向的导热性差。本发明包括基底、位于基底顶部的第二金属层、位于第二金属层顶部的第一金属层、第一通孔传输通道、第二通孔传输通道和位于第一金属层上且缠绕成四匝的十六根石墨烯互连线。本发明相比单层石墨烯的互连，多层垂直石墨烯的互连在较大宽度时体现出优势；相比较铜互连，减小了集成电路中信号传输时延，降低功耗；而相比较水平石墨烯互连，因石墨烯特性各异向，竖直方向的导热问题可得到有效的解决，在类似于三维集成电路新型技术中应用至关重要。