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应用磁控溅射技术在Sa、GaN衬底上制备ε-Fe2~3N薄膜及其特性研究

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作者
郑洁;
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作者单位

南京邮电大学;

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授予单位南京邮电大学;
学科电子与通信工程
授予学位硕士
导师姓名陶志阔;
年度 2018
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原文格式 PDF
正文语种中文
中图分类
关键词
磁控溅射技术; GaN衬底; 制备; 薄膜;

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