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【24h】

Characterization of GaN thin films grown by RF Magnetron Sputtering for fabrication of an AlGaN/GaN HEMT biosensor

机译：射频磁控溅射生长的GaN薄膜的特性用于制造AlGaN / GaN HEMT生物传感器

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作者
Garza, Rocio Yolanda;
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作者单位

The University of Texas - Pan American;

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授予单位 The University of Texas - Pan American;
学科
学位 M.S.
年度 2014
页码 109 p.
总页数 109
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类
关键词
入库时间 2022-08-17 11:56:58

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