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目录
第一章 绪论
§ 1-1 III族氮化物的性质
§ 1-2 III族氮化物器件
§ 1-3 制备AlN单晶的方法
§1-4 本论文主要研究内容
第二章 实验设备和检测设备
§2-1 HVPE设备介绍
§2-2 测试设备
第三章 源区和生长区化学分析
§3-1 源区物质分析
§3-2生长区物质分析
§3-3 HVPE反应室的流场模拟
§3-4 本章小结
第四章 实验工艺对AlN晶体生长的影响
§ 4-1 V/III比对AlN表面形貌和生长速率的影响
§ 4-2 缓冲层生长温度对AlN表面形貌和生长速率的影响
§4-3 本章小结
第五章 结论
参考文献
致谢