公开/公告号CN113818084A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-21
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯研(江苏)半导体有限公司;
申请/专利号CN202110890100.6
申请日2021-08-04
分类号C30B29/40(20060101);C30B23/00(20060101);
代理机构32558 苏州博格华瑞知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人张燕
地址 215000 江苏省苏州市高新区科灵路78号软件园5号楼202(2)-19室
入库时间 2023-06-19 13:48:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-09-01
发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C30B29/40 专利申请号:2021108901006 申请公布日:20211221
发明专利申请公布后的撤回
机译: HVPE法生长氮化镓晶体的过程
机译: 氢化物气相法(HVPE)的平面非极性{10-10} M平面氮化镓的生长
机译: HVPE和CVD法生长氮化镓的方法