Micro Nano Electromech. Syst. Lab., Northwestern Polytech. Univ., Xi'an;
microsensors; silicon-on-insulator; temperature sensors; MEMS devices; SOI wafers; notching effect happens; silicon temperature sensor;
机译:一种使用先进的MEMS工艺对具有嵌入式垂直馈通的SOI-MEMS器件进行晶圆级气密封装的方法
机译:使用具有垂直馈通的SOI盖晶片的MEMS晶片级气密封装的先进MEMS工艺
机译:SOI晶片中Si / SiO {sub} 2界面处的硼杂质及其对压阻MEMS器件的影响
机译:基于SOI晶片的大曝光区域制造MEMS器件的一种新方法
机译:引入多孔硅作为牺牲材料,以在SOI晶片的衬底中获得空腔,以及用于MEMS器件的吸气材料
机译:一种基于玻璃 - 硅复合晶片的电容MEMS加速度计的新型制造方法
机译:基于研磨的硅晶片制造方法:晶片表面的分解分析