Institute for Microelectronics, TU Wien, Gusshausstr. 27-29/E360, A-1040 Wien, Austria;
rnInstitute for Microelectronics, TU Wien, Gusshausstr. 27-29/E360, A-1040 Wien, Austria;
机译:基于三维水平集的Bosch过程仿真,使用射线跟踪进行通量计算
机译:水平集方法在制造纳米级器件的刻蚀轮廓演变的三维模拟中的应用
机译:用于蚀刻,沉积和光刻的统一模型的水平集方法Ⅱ:三维模拟
机译:三维等离子蚀刻仿真使用先进的射线跟踪和水平集技术
机译:I.层状介质中的三维射线追踪和射线反演。二。反向散射和弯曲射线层析成像技术在地震学中的应用。
机译:垂直和斜面结构的SiC蚀刻技术结合了用于各种微电子应用的不同混合气体等离子体
机译:利用高级水平集和射线追踪方法进行三维地形模拟