Prazisions Mikropositioniersysteme basierende auf dem Micro Harmonic Drive Getriebe

摘要

Die Vorteile der Miniaturisierung eroffnen neue Anwendungsgebiete fur leistungsstarke Mikroaktuatoren in dynamisch wachsenden Markten. Diese mussen jedoch zusatzlich zu miniaturisierten Aussenabmessungen und geringem Eigengewicht ebenfalls ein spielfreies und prazises Positionierverhalten bereitstellen. Das Micro Harmonic Drive stellt derzeit das weltweit kleinste spielfreie Mikrogetriebe dar. Durch die Kombination aus hoher Ubersetzung, ausgezeichneter Wiederholgenauigkeit, gutem Wirkungsgrad und hoher Drehmomentkapazitat eignet sich dieses Getriebe hervorragend fur prazise Positionieranwendungen in der Halbleiterfertigung, in der Medizintechnik, in Messmaschinen, in optischen Systemen sowie in der Raumfahrt. Bisher benotigen Maschinen aufgrund des Einsatzes von konventioneller Antriebstechnik fur die prazise Handhabung von Mikrobauteilen ein Vielfaches an Baugrosse gegenuber den eigentlichen Bauteilen. Die Herausforderung fur zukunftige Maschinenentwicklungen zur Herstellung und Handhabung von Mikrobauteilen besteht darin, die Abmessungen derartiger Prazisionsmaschinen an die Grosse der Bauteile anzupassen und damit Vorteile durch zunehmende Genauigkeit und Dynamik ausnutzen zu konnen. Hierzu werden schnelle, prazise und zuverlassige Antriebe fur rotatorische und lineare Bewegungen benotigt, wobei zusatzliche Funktionalitaten, wie zum Beispiel eine Vakuumversorgung oder optische Elemente, in dem Mikropositioniersystem integriert sein mussen.