基于固高平台的宏微两级精密定位系统

摘要

精密、超精密以及纳米定位平台及其控制技术是微机电系统、微细加工、微操作与微装配、超大规模集成电路、精密、超精密加工及精密测量等领域的关键技术，定位过程中的大行程、高分辨、高精度、强实时等要求是其亟待解决的问题。