機構特性変動を考慮した精密位置決めステージ制御系のモデルベース設計手法の開発

摘要

産業分野で用いられる精密位置決め装置では，デバイスの微細化に伴い，位置決めの高精度化と高速化が要求されている．特に，サブミクロン以下の位置決め精度が要求される装置においては，案内機構の非線形摩擦特性を考慮したモデル化と制御系の構築が必須となる．本開発では摩擦特性などの非線形現象を再現するステージシミュレータを構築し，位置決め制御系の複数パラメータの同時最適化設計をモデルベースで行った．