超精密定位系统宏动平台非平滑非线性动态模型辨识

摘要

本文介绍了超精密定位系统的宏动平台进给装置的构成,这是个具有库仑摩擦+粘性摩擦这类非平滑非线性的动态系统.为了建立该系统的模型,本文提出机理+参数辨识的混合模型辨识方法,该方法可以较方便地确定模型结构,并确定非平滑非线性特性和线性部分的模型参数.实验取得了令人满意的效果。