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薛梓; 叶孝佑; 王鹤岩; 杨国梁;
中国计量测试学会;
定位系统; 摩擦传动; 激光干涉仪; 掩膜板测量; 二维运动平台;
机译:数据驱动的迭代解耦前馈控制策略及其在超精密运动平台上的应用
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机译:自动识别系统自主定位系统的研制
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机译:改进行程钢的研制
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机译:运动平台定位系统
机译:大型载荷导向机构和多自由度大行程高精度运动平台系统
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