超磁致伸缩驱动的二自由度精密微定位系统和方法

摘要

本发明公开一种超磁致伸缩驱动的二自由度精密微定位系统和方法，涉及自动化设备技术领域。包括底座、柔性铰链平台、挡块、夹具、数据采集卡、导线、程控电流源、位移传感器、超磁致伸缩驱动器和传感器电源。能够实现二自由度同步控制，具有超高的位移分辨率特性，能够实现闭环控制达到精密定位。