タンパク質の質量·分子間力同時検出に向けたリング型PZT薄膜を用いたMEMS質量センサ

摘要

そこで本研究では、光干渉型センサの可動膜上に圧電電極を備え共振駆動を行うことで、分子吸着に伴う周波数変化を測定する質量検出機構を集積化することにより、吸着分子の分子間力と吸着質量を同時検出可能なマルチモーダルバイオセンサを提案する。