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MEMS空气质量气体传感器的研究

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介绍了以MEMS技术为的半导体类空气质量传感器,常见的有膜式结构和悬臂梁式结构.分别阐述了不同结构传感器的特点,并介绍了MEMS半导体气敏传感器的发展前景.

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来源
《第十四届全国敏感元件与传感器学术会议》|2016年|615-618|共4页
会议地点成都
作者
Wang Lili; 王利利; Ge Qian; 葛倩; Qiao Lei; 乔磊;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

中国生物工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类大气监测;
关键词
大气监测; 空气质量传感器; 微机电系统; 膜式结构; 悬臂梁式结构;

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