MEMS微型NO2气体传感器的研究

刘鑫

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采用MEMS技术制作了硅基微型NO2气体传感器,选用高分子金属酞菁聚合物酞菁铜作为敏感膜,从半导体理论出发解释了酞菁铜的敏感机理.阐述了该传感器的结构与工艺流程,并测试了传感器的气敏特性、温度特性、响应时间和恢复时间等敏感特性.实验结果验证了酞菁铜对NO2气体的敏感性,该传感器可以检测到10-6量级的NO2气体,且响应时间快.

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来源
《传感器与微系统》 |2009年第2期|48-49,52|共3页
作者
刘鑫;
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作者单位

黑龙江科技学院,计算机与信息工程学院,黑龙江,哈尔滨,150027;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
微机电系统; 酞菁铜; 气体传感器; 二氧化氮;

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