ポリマーの体積変化とカンチレバーの横変位による応力集中を用いたピエゾ抵抗型ガスセンサ

摘要

近年，生体の嗅覚を模擬した臭いや味覚センシングへの関心の高まりや，食品分析，呼気診断，空港での薬物検査，環境モニタリング，工場等の排ガス分析等のIoT（Internet of Things）センサへのニーズの高まりを受けて，持ち運び可能なサイズの小型ガス分析装置のニーズが高まっている．一方で，ガス分析に必要な複雑かつ微量なガスの成分を同時に計測できる計測方法は FTIR やガスガスクロマトグラフィー質量分析法といった手法があるが，どちらも装置が大きく高額なため，簡易的なガス分析装置としての用途には適さない．