兼具纵向和横向压阻系数的悬臂传感器

摘要

本发明涉及一种含最少一个传感器单元，例如悬臂的传感器。该传感器单元含捕获表面区域和当将电场施加在压敏电阻元件上时，用于直接检测传感器单元应力变化的压阻检测系统。该压敏电阻元件具有沿电流的纵向和与其垂直的横向。该纵向和横向各自具有应力分量和电流分量。该压敏电阻元件是各向异性的材料，并且这样排列，即沿压敏电阻元件长度的至少25%，如沿该长度的至少50%，如沿该长度的至少80%，如沿该长度的至少90%，沿该长度的至少95%的纵向压阻系数π₁和横向压阻系数π_t之和的数值为至少10^-10Pa^-1×P，如2×10^-10Pa^-1×P，如3×10^-10Pa^-1×P，如4×10^-10Pa^-1×P，其中P是压敏电阻因子，其中将压阻系数π₁和π_t确定为用于确定纵向的坐标系中的分量。