波長160 nmの真空紫外光照射による高分子材料の 表面改質と固体間直接接合

摘要

マイクロ流体デバイス（Microfluidic Device)は，微細加 ェ技術を駆使して基板上に形成した微小流路中で，様々な 生化学分析?反応などを行うデバイスのことであり，医療 分野や環境モニタリングなど様々な分野での応用が進hで いる。開発当初は，デバイスの基板材料として，半導体微 細加工技術の転用が容易なシリコンが使用されていた。そ の後，蛍光物質や発光物質を使用した光検出を利用しゃす いことなどから，光の透過性に優れたガラスや高分子材料 などが使用され始めた。さらに近年，量産性と低コスト化 の観点から特に高分子材料製のマイクロ流体デバイスが注 目されるようになっている(1)。ただし，デバイスの集積化に おける技術課題として，基板表面や内部の微細構造を破壊 せずに積層化できるよう，従来の熱や接着剤に代わる接合 法が喫緊の課題として挙がっている。このような背景の下 で注目されているのが，真空紫外光による表面改質を用い た直接接合法(2)で，ポリジメチルシロキサン（PDMS)，ァ クリル樹脂（PMMA)ゃシクロォレフィンポリマー（COP) 等の接合例&4)の報告があるものの，実施例が少なく，異種 材料の接合も未開拓となっているのが現状である。