誘電泳動集積法により作製したCNT-FETガスセンサのNO_2曝露ガス応答におけるオンオフ比向上の効果

摘要

NO_2は工場などから排出され、人間の肺やその他の呼吸器系に悪影響を与える有害な物質である。日本では大気中のNO_2濃度を１時間平均10 ppb以下に抑えることが環境基準として定められている(1)。従来は NO_2を検出する方法として、化学発光法や吸光光度法(1)が用いられているが、これらは大規模な装置を必要とし、持ち運びが困難である。このため NO_2を高感度かつ簡便に測定可能な小型のガスセンサが現在求められている。