覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器响应机理分析

摘要

本文采用Martin理论和摄动法分析了覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器的响应机理.以针对有机磷毒剂具有良好选择性的FPOL膜材料为例,分析了聚合物膜厚以及传感器工作频率在敏感膜吸附气体时对传感器响应的影响,从而获得传感器响应与敏感膜膜厚及传感器工作频率的关系,以此提取出优化的敏感膜膜厚和传感器工作频率,特别是分析了影响传感器气体响应的关键因素,为高性能声表面波气体传感器的优化设计奠定理论基础.