Gratings; diamond; coronagraphy; microfabrication;
机译:通过空气等离子蚀刻带有氧化物掩膜的金刚石尖端制造
机译:微波等离子体辅助刻蚀的掩模选择性和金刚石刻蚀研究
机译:RF等离子蚀刻硼掺杂金刚石膜的自我掩蔽纳米结构研究
机译:实现中红外区域的金刚石环形凹槽相位掩模-金刚石等离子蚀刻成功开发工艺的五年
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:SiO2球形掩模的ICP刻蚀技术制备金刚石亚微米透镜和圆柱体
机译:实现中红外区域的金刚石环形凹槽相位掩模:金刚石等离子蚀刻成功开发工艺的五年