Thermal effect; capacitive accelerometer; MEMS; PSpice; circuit model.;
机译:一种简化的等效电路模型,用于研究电容性MEMS加速度计中挤压膜效应
机译:使用体硅MEMS电容式加速度计的多物理场模型进行热漂移分析
机译:具有防弹簧结构的电容MEMS加速度计的分析研究和热补偿
机译:电容性MEMS加速度计的热效应研究的PSPICE模型
机译:RF MEMS电容开关的高电流密度效应与功率处理能力的有限元模型
机译:电容-电阻电转移在腓肠肌跟腱和肌腱末端交界处的热效应和非热效应:尸体研究
机译:用于研究电容MEMS加速度计热效应的PSpice模型
机译:射频mEms电容开关介质充电效应的建模与表征