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赵楷; 熊斌; 车录锋;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200050;
中国科学院研究生院,北京,100039;
MEMS加速度计; Verilog-A模型; 寄生电容; 热机械噪声;
机译:基于线性模型的MEMS电容式伺服加速度计噪声评估
机译:基于微机电系统(MEMS)基于电容式加速度计的麦克风,具有增强的灵敏度,可实现完全植入的助听器:一种新的分析方法
机译:使用体硅MEMS电容式加速度计的多物理场模型进行热漂移分析
机译:微机械电容式加速度计的Verilog-A建模和设计
机译:具有漂移补偿的高动态范围CMOS-MEMS电容式加速度计阵列
机译:基于硅晶片蚀刻工艺的MEMS微克电容式加速度计
机译:用于基于MEMS的电容式加速度计的改进的SPICE模型
机译:RF mems电容式开关中介电充电效应的瞬态spice模型(预印本)
机译:基于MEMS活塞管的电容式加速度计
机译:用于基于MEMS的电容式加速度计和应变传感器的读取系统以及读取方法
机译:用于基于MEMs的电容式加速度计和应变传感器的读取系统以及读取方法
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