deformable mirror; MEMS; hexagonal arrangement; dynamic response;
机译:用于高对比度成像的4096元件连续面板MEMS变形镜
机译:静电活塞阵列致动MEMS可变形镜的数学建模与分析
机译:将位移传感器集成到用于MEMS变形镜的大块PZT厚膜致动器中
机译:A 19元件六角执行器布置连续面板MEMS可变形镜
机译:MEMS变形镜的无限维建模和控制及其在自适应光学中的应用
机译:基于2D扫描MEMS镜的定制的两个光子荧光成像探针包括电热两级梯双S形致动器
机译:用于高对比度成像的4096元件连续面板mEms可变形镜
机译:用于太空望远镜的高执行器计数mEms可变形反射镜