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虞益挺; 苑伟政; 乔大勇; 李晓莹;
中国微米/纳米技术学会;
中国仪器仪表学会;
中国机械工程学会;
微变形镜; 分立活塞式; 系统级; 集成设计平台; MEMS器件;
机译:在微型自动聚焦成像系统中控制MEMS变形镜
机译:基于微机电系统(MEMS)的低温可变形镜
机译:静电活塞阵列致动MEMS可变形镜的数学建模与分析
机译:自适应光学,MEMS,MOEMS,光学MEMS,微镜,可变形镜
机译:用于眼睛自适应光学系统的MEMS变形镜的设计,制造和表征。
机译:用于天基高对比度成像的MEMS变形镜
机译:微电子机械系统(MEMS)变形镜的建模,用于仿真和表征
机译:通过膜转移制造用于mEms可变形镜的微致动器
机译:带分立V型微镜的MEMs型光学增,降模块
机译:具有分立的V型微镜的MEMS型光学增,降模块
机译:系统级设计方法和系统级设计装置
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