ACTUATORS; DEFORMABLE MIRRORS; FABRICATION; MEMBRANES; MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS; MIRRORS; deformable mirror continuous membrane membrane transfer;
机译:大块PZT驱动的MEMS变形镜的设计,制造和表征
机译:基于薄膜压电单压电晶片致动器的可变形反射镜,带有转移的硅膜
机译:变形板膜反射镜的分布式微观驱动分析
机译:太空中可变形MEMS镜用波纹膜静电执行器的设计与制造
机译:下一代望远镜仪器中MEMS可变形反射镜的制造工艺。
机译:具有SU-8膜和挠性的MEMS 3D扫描镜适用于高NA显微镜
机译:表征影响函数的非附加性 1024执行器mEms可变形镜
机译:设计和制造用于空间mEms变形镜的波纹膜静电致动器