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邵健; 李琦; 冯楚桓; 李威; 张欣峰; 余洪斌;
华中科技大学光学与电子信息学院,湖北 武汉 430074;
自适应光学; 变形镜; 氮化铝(AIN); CMOS兼容性; 线性驱动;
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