ウェハレベル真空封止を適用したIMU 用MEMS ジャイロ

摘要

本報告では、ウェハレベル真空封止を適用した振 動型MEMS ジャイロの構造及び特性について述べた。 初めに、設計?試作したMEMS 素子の構造および動 作原理を説明した。次に、ウェハレベル真空封止を 実現するGSG 構造素子の作製方法を示し、小型化の 効果について説明した。最後に、実測評価を行い、 その結果、入力角速度±1500 deg/s の範囲において、 SF 非線形性は±0.004 % of FS 以下、ARW は0.0034 deg/√h、BI は0.059 deg/h を確認し、GS 構造の従来 品とほぼ同等の性能を維持しつつ小型化を実現する 見通しを得た。なお、長期安定性に関しては若干の 劣化が見られており、引き続き調査検討を進めてい る。また、今回開発したGSG 素子の評価では入手性 の良いカタログ品のセラミックパッケージを用いて おり、小型化の程度は限定的である。今後はさらな る小型化に向けて検討を進める予定である。