Backside sample preparation; characterization; high-k metal gate;
机译:金属栅/高k /超-SiO_2 / Si p沟道金属氧化物半导体叠层中的平带电压急剧下降的起源
机译:高k /金属栅堆叠的背面和正面高级化学分析
机译:通过低温微波基等离子体氧化形成具有超薄界面层的高K金属栅叠层
机译:超薄高k /金属栅极堆叠表征的终极背面样品制备
机译:纳米N沟道和P沟道金属氧化物半导体场效应晶体管的超薄氧化物和氮化物/氧化物堆叠的栅极电介质研究
机译:顶栅石墨烯纳米带晶体管具有超薄高k电介质
机译:高K金属栅极堆叠,具有由低温微波等离子体氧化形成的超薄界面层