Plasma; Ion beams; Plasma etching; Gallium arsenide; Etching; Nanotechnology; Atomic force microscope;
机译:Ga +聚焦离子束注入诱导的ZnO膜H 2刻蚀掩模
机译:等离子体蚀刻通过Ga〜+离子聚焦束形成的掩模形成的硅基纳米结构
机译:聚焦离子束和宽束Ga + sup>辐照在锗上形成纳米孔图形
机译:通过Ga +的聚焦离子束对GaAs基板的掩模形成,用于等离子体化学蚀刻
机译:通过聚焦离子束诱导的选择性混合和湿法化学蚀刻形成光通道波导:设计,制造和表征。
机译:用金属辅助化学蚀刻形成高掺杂多孔Si层的硅衬底的形成与评价
机译:Ga +铣削对聚焦离子束铣削Ingaasp量子阱激光器的影响
机译:Cl(2)-ar混合物电感耦合等离子体中Gaas及相关化合物的反应离子束蚀刻;真空科学与技术学报B