振動制御型マイクロカンチレバーによるナノスケール機械加工技術の開発

摘要

機械加工は製造技術における基本といえ，製品を生産する際に非常に重要な役割を担う．切削加工は機械加工の代表例であり，従来の等身大の製品製造のみならず，近年ではマイクロ·ナノスケールの微細加工においても適用されている．切削加工の微細化の極致を目指し，新たな形状創成技術を確立することは，MEMS·NEMS製造の可能性をさらに広げ，微細加工技術の新たなブレイクスルーとなりうる．本研究ではこの手法をさらに発展させ，ステンレス製マイクロカンチレバーの先端にダイヤモンド砥粒を接着し，これをkHzオーダーで共振させ，振動切削することでナノスケール加工のさらなる高効率化を目指す．