イオンビームによる光学面精密加工技術の開発（磁界型4極子レンズを用いたビーム集束技術の検討

摘要

高精度の光学部品の形状加工には，イオンビーム加工が有効である。しかし，これまでのイオンビーム加工の主な加工対象は，大口径光学部品であった。そこで，小口径～中口径の光学部品の加工に適用できれば，イオンビームの活用範囲が広がる．そのためには，小径であり，高イオン電流密度のイオンビームが必要である．しかし，このようなイオンビームは生成し難い。