基于通用机床的精密辊筒表面微结构阵列超精密加工技术研究

摘要

本文即展开基于通用超精密加工中心实现精密辊筒表面上微结构阵列的加工技术的研究，研究可适用于金刚石超精密加工的各种微结构式样和形状，以及对应的刀具轨迹生成，包括螺线型的V槽和圆槽结构、线性菲涅尔结构、突台阵列等。对两台超精密加工中心加工微结构阵列的超精密加工机理进行了说明，并基于通用加工中心展开了一系列的实际加工试验，在辊筒表面加工生成了具有不同式样和形状的微结构，并对生成的微结构进行了测量和分析。