熱フィラメントCVDによるダイヤモンド合成における天然ガスと電解精製水素の影響

摘要

熱フィラメントCVDは、CH_4をH_2で希釈した混合ガスを、基板近傍に張られた加熱したフィラメントで、熱分解することによってダイヤモンドを合成する手法であるが1）、そのダイヤモンドの生成領域は低CH4濃度であるために、CH_4に対して希釈するH_2が多量に必要である。一方、千葉県は国内でも有数の天然ガスの産出地であり、この天然ガスは水溶性ガスとして存在するため天然ガスを炭素源として用い、かh水に含まれたI_2を採取する際に残ったH_2Oが電解精製することにより　H_2をダイヤモンド合成に用いることが考えられる。