イオンビームスパッタリング法によるPET材料へのITO薄膜の形成

摘要

近年の有機材料を用いた各種電子素子開発は目覚しく、特に液晶ディスプレイなどのフラットパネルディスプレイやタッチパネル、電子ペーパー、有機EL素子などの表示機器では透明導電性薄膜の開発、および透明導電性酸化物薄膜によるアクティブデバイスの開発などが活発に研究されている。これらの有機材料開発では、その用途から透明なフレキシブル基板としてポリエチレンテレフタレート（PET）材料が基板として用いられてきている。有機材料である　PET基板上への電極形成に関しては、低温での薄膜形成が重要である。