RF MEMS; reliability; dielectric charging; MEMS switches;
机译:表面粗糙度对RF-MEMS电容开关的机电性能的影响
机译:沉积参数对电容式RF MEMS交换机表面粗糙度及随后电磁性能的影响:综述
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机译:高性能RF MEMS金属接触开关和电容开关。
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机译:RF MEMS开关和开关电路:RF MEMS开关的建模以及RF MEMS电容式开关和MEMS可调滤波器的开发