electrical breakdown; paschen curve; MEMS microswitch; surface micromachining;
机译:跨微米尺度间隙的场发射驱动直流氩放电和电击穿机理
机译:大气压下空气中平面MEMS结构的跨微米级间隙的放电
机译:25微米和125微米厚的SOI-MEMS结构的断裂强度表征
机译:MEMS结构中微米级间隙的电气击穿
机译:MEMS微动开关设计用于高压应用和用于大气压空气环境中微米级间隙的放电过程。
机译:通过机械手分配系统对悬浮的微米级/亚微米级纤维结构进行规定的3D直接写入
机译:由气态间隙中的球形导电粒子引发的电击穿(I):平行平面间隙中的场强和作用在球形导电粒子上的力的数值计算以及击穿电压的预测方法
机译:预测微米级多晶硅mEms结构中的断裂