MEMS材料的微米尺度力学性能试验

摘要

以多晶硅薄膜为例综述MEMS材料力学性能测试的基本方法：压痕法，悬臂梁法 ，膜压力膨胀试验法及拉伸试验法，比较讨论了各自的优缺点，并介绍了该领域的最新进展。