イオンビームアシスト法により作製したDLC薄膜へのTi添加効果

摘要

著者らは、トルエン（C_7H_8）、ナフタレン（C_(10)H_8）、又はドデカン（C_(12)H_(26)）雰囲気中におけるイオンビームアシスト法によりDLC薄膜の作製を行ってきた。これまでの研究において、膜の成長速度は雰囲気ガスの炭素量の影響を受け、変化することが明らかとなっている。